NT...H(高精度型）

产品介绍

NT…H是将圆柱滚子型的内置齿轨&齿轮型交叉滚子直线导轨用于工作台导向部，通过1μm以下的定位精度和行走直线度，实现高刚性和顺畅动作(无作用于空气静压轴承的脉动)的高精度直线电机工作台。

高精度定位：工作台导向部采用在小形直线导轨设备领域赢得口碑的IKO交叉滚子直线导轨，直线电机搭配高分解能线性解码器，取得高精度的定位精度。

   大推力、高清洁度：采用高性能钕磁铁，具备大推力，体型小的同时能实现高速高响应的定位精度。此外，采用划时代的无电缆驱动方式，机械性接触部分仅采用直线导向装置，实现了高清洁度。

应用

适合用于半导体和液晶制造以及要求清洁环境的检验、电子元器件装配装置等设备的定位机构。

产品优势

1●出色的重复定位精度

通过组合加工的零部件和齿条&齿轮内置型交叉滚子直线导轨，实现了高刚性和对空气静压轴承无脉动地工作。实现了5秒以下的姿势精度。因移动引起的姿势变化极少，位置的再现性优异，重复定位精度出色。

2●速度稳定性高

通过动作顺畅的交叉滚子直线导轨、无芯动磁铁型直线电机、高性能伺服驱动器，进一步提高了速度稳定性。(10mm/s移动时，±1%以下)

3●行走精度高

彻底追求每一个构成零件的精度，通过对构件进行高精度加工和组装，实现了直线度1μm以下的定位精度和行走平直度。

型号	高精度型 NT…H
	NT88H25		NT88H65
型号及大小尺寸
截面形状
最大推力 N	25		25
额定推力 N	5		5
最大可搬质量 kg	5		5
有效行程长度 mm	25		65
分解能 μm	0.01	0.05	0.01	0.05
最高速度 mm/s	90	400	90	400
重复定位精度 μm	±0.1		±0.1